Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2-based MIM Structures

Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2-based MIM Structures

Auteur : Thomas Szyjka, Lutz Baumgarten, Terence Mittmann, Yury Matveyev, Christoph Schlueter, Thomas Mikolajick, Uwe Schroeder, Martina Müller

Date de publication : 2021

Éditeur : KOPS Universität Konstanz

Nombre de pages : Non disponible

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